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“碳化硅衬底的良率,我们只有30%到50%,国外可以做到80%以上。这意味着什么?同样的原材料,同样的设备,我们生产出来的合格产品只有人家的一半多,成本自然就上去了。”
他顿了顿,又补充道:
“晶圆开裂、外延缺陷、掺杂均匀性,每一个环节都是坎。我们的技术人员已经连续攻关了两年多,但碳化硅功率芯片的良率,到现在还是只有35%左右。”
董远方听着,眉头微微皱了起来。他侧过头问:
“凌总,主要瓶颈在哪个环节?”
“衬底。”
凌敬山回答得毫不犹豫:
“碳化硅衬底是整个产业链的根基,衬底的质量直接决定了后续外延和器件的性能。但碳化硅是硬脆材料,莫氏硬度9.5,仅次于金刚石。切割、研磨、抛光,每一个工序都极其困难。我们现在用的切割设备,核心部件还是进口的,一台设备就要上千万,还要受制于人家的出口管制。”
他说着叹了口气,目光落在车间里那些忙碌的设备上,像是在看一群被困在笼子里的猛兽。
“董主任,我不怕跟您说实话。”
凌敬山转过身来,看着董远方,眼神里有种复杂的情绪,有焦虑,有不甘,也有一种近乎固执的坚持。“我们公司成立八年了,前五年一直在亏钱,股东们骂了我五年。但从去年开始,新能源汽车的订单起来了,我们总算看到了希望。可如果我们一直解决不了良率和成本的问题,等到国外大厂产能释放的那一天,我们拿什么跟人家竞争?”
董远方沉默了几秒,然后缓缓点了点头。
他没有急着安慰凌敬山,也没有给出任何空洞的承诺。
他只是说:
“凌总,你们正在做的事情,是国家需要的事情。这次摸底,就是要找出像你们这样的企业,把真实的情况摸清楚,把问题的症结找出来。你刚才说的这些,包括设备进口受限、良率提升困难、成本居高不下,都要原原本本地写进报告里。”
凌敬山眼眶微微泛红,用力地点了点头。
走出车间的时候,天色已经暗了下来。
厂区里的路灯亮了,橘黄色的光洒在灰色的水泥路面上,拉出长长的影子。远处传来机器运转的低沉嗡鸣,像是一头巨兽沉稳的呼吸。
董远方站在厂门口,深深吸了一口气。