总控室的气氛瞬间紧绷。
按照普通实验程序,此时应该立刻暂停气体注入排查问题。
但江南并没有动。
他的眼睛紧盯着主屏幕上波动的各条数据曲线,在脑海中排查过滤一切可能遗忘得问题,大脑飞速运转。
硅烷沉积过程具有强烈的自持性,中途停止极可能导致反应腔内物质状态不均,反而增加爆炸风险。
所以——
“继续实验。”江南沉声宣布。
“调整A区加热功率,提升0.3%。瑞恩,重新计算气体混合梯度。”
“可是江工,一旦发生爆炸——”一位华国研究员想要提醒风险。
“按我说的做。”江南打断他,紧盯屏幕道。
“汤姆,我要你在十秒内给出压力波动的三种可能模型,快!”
指令下达后,瑞恩的手指在键盘上上下翻飞,汤姆已经紧绷着脸在平板上迅速演算,手指快成了飞影。
其他研究员也各司其职,控制室内响起噼里啪啦的键盘敲击声。
休明站在角落的观察位置,手心全是汗,护目镜已经因为升腾得体温有些模糊。
但与此同时,他的心头涌动出一股难以自持的,属于团体为了同一个目标奋进的热切感。
休明看着江南挺拔的背影,看着不同国籍的科学家们立刻响应江南的指令,为了同一个目标全力以赴,越发理解了钱知行之前说的话。
只要江南站在这里,他就是光,就能源源不断吸引所有为科研奋斗的学者们。
不管他们来自哪里——这就是独属于江南的人格魅力。
“模型出来了——”汤姆的声音忽然响起,语气无比紧绷。
“最可能的原因是腔内残余氧气浓度略高于预期,导致硅烷氧化反应提前触发。”
“给我解决方案——”江南说。
“提高惰性气体冲洗速率,同时微调温度曲线,让主反应在氧化层形成前覆盖整个基板表面。但这需要重新计算整个温度场分布,我们的时间明显不够。”
瑞恩突然抬头:“不,不一定需要重新计算全部——”
所有人的目光立刻聚集。
这位曾在德国深造多年的专家在主控台前,指着一组数据肃声道。
“你们看这里——氧化反应虽然提前,但只在表层形成极薄的非晶硅层。如果我们不试图消除它而是利用它呢?”
江南眼睛发亮:“说下去。”
“非晶硅层可以作为缓冲,如果我们控制后续晶体生长速率,让单晶硅在非晶层上外延生长,反而可能获得更好的界面特性。”
瑞恩越说越快,眼睛越来越亮。
“这样我们就不需要调整整个实验温度场,只需要在第二阶段将升温速率提高到11%,并在第三阶段延长退火时间至少34秒,这是完全有可能做到的!!”