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第350章 测试完成!让人惊艳的指标!(2/2)

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全链路波前误差0.15nRMS以内,加对比度上70%,再加24小时套刻精度进入2n,这几组数据同时达标,便标志着真正的与世界一流接轨了!

而现在呈现出的数据呢?

虽然在400次的测试中,全链路拨前误差,仍旧差了0.03nRMS!

但在过程中......

有近2成的情况,全链路拨前误差都能够压到0.12以下!!!

这代表什么?

代表林决这套方案,已经完全能够EUV反射镜多层膜的原位相位非均匀性误差问题的!

至于那0.03的差距......

那并非是林决方案的问题,而是设备和材料上工艺上的差距!!!

而且....

就算存在这种差距,现在看来也并非不能解决!

这一刻.....

以前在众人在光刻机研发中,那种只能望其项背的感觉,在这一刻......彻底消失了!

他们不但能够迫近,甚至偶尔能够做到超越一流标准的数据了,这是在以前想也不敢想的事情!!!

“成了!连续四百组不同工况中,我们也能跑出稳定的结果了!!!”

在众人噤声屁片刻后。

在操控台的蒋墨双手握拳高举,做出了污渍请为我欢呼的香槟手势,

“一个月都没到啊,咱们就把光路测试完成了,还有谁!还有谁啊!?”

什么叫队友强,我猖狂?

请看此时的蒋教授,可谓演绎得淋漓尽致!

房怀年见状,没好气道,

“那是你的功劳吗?不都林决厉害吗?”

卢敬尧点点头,很是赞同,“确实!”

这二十天的时间里。

他们算是完整的体验,科研圣体完全体的恐怖!

那一个个原本需要大量时间验证,需要通过研讨会讨论,才能有结果的问题.....

在林决面前跟新兵蛋子似的,只要敢露头,立马就秒!

也是因此。

整个团队全程都跟打了鸡血一样。

就连一把年纪的蒋墨,陈望山等人,最近都是连轴转。

没办法!

测试过程中时刻都有回报啊!

光是看到那一组组以前想都不敢想的指标,大家伙就打心底里开心。

所以每天干起活来,众人就跟打了两升肾上腺素似的,有着使不完的力气。

甚至有时候连吃饭都嫌浪费时间,干脆一天只吃一顿。

美其名曰:有这时间,待在实验室盯数据不好吗!?

不过。

偶尔蒋墨和房怀年也会讨论。

被林决带飞的感觉不要太爽,以后要是不能和他一起搞科研,人生那得多无趣了啊!?

这些专家组的人是爽了。

但黄作平这个副所长可头疼得不行。

因为他是生怕老教授倒在实验室啊!

他一个小小所长,可担不起这个责任。

所以,好些时候黄作平只能苦苦哀求。

让这些不要命了似的的老教授们回家休息。

“真是一场酣畅淋漓的测试啊,简直跟便秘时用了开塞露一样畅快!”

蒋墨似乎还在回忆。

房怀年:“????”

卢敬尧:“????”

陈网山:“????”

其余众人:“.......”

林决只觉得眼前一黑。

我超威.....

蒋老您要比喻给我找个好点儿的啊!

见气氛忽然尬住,蒋墨这才回过神来,有些尴尬一笑,

“那什么.....不好意思,忽然就想到了,没忍住就说出来了。”

房怀年嘴角一抽,“老墨你好歹一文化人,怎么能如此粗俗?”

卢敬尧:“确实。”

蒋墨翻了个白眼,强撑场面道,

“老卢啊,你就别搁这确实了,难道只会说这句话?”

“确实。”

蒋墨:“......”

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