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全链路波前误差0.15nRMS以内,加对比度上70%,再加24小时套刻精度进入2n,这几组数据同时达标,便标志着真正的与世界一流接轨了!
而现在呈现出的数据呢?
虽然在400次的测试中,全链路拨前误差,仍旧差了0.03nRMS!
但在过程中......
有近2成的情况,全链路拨前误差都能够压到0.12以下!!!
这代表什么?
代表林决这套方案,已经完全能够EUV反射镜多层膜的原位相位非均匀性误差问题的!
至于那0.03的差距......
那并非是林决方案的问题,而是设备和材料上工艺上的差距!!!
而且....
就算存在这种差距,现在看来也并非不能解决!
这一刻.....
以前在众人在光刻机研发中,那种只能望其项背的感觉,在这一刻......彻底消失了!
他们不但能够迫近,甚至偶尔能够做到超越一流标准的数据了,这是在以前想也不敢想的事情!!!
“成了!连续四百组不同工况中,我们也能跑出稳定的结果了!!!”
在众人噤声屁片刻后。
在操控台的蒋墨双手握拳高举,做出了污渍请为我欢呼的香槟手势,
“一个月都没到啊,咱们就把光路测试完成了,还有谁!还有谁啊!?”
什么叫队友强,我猖狂?
请看此时的蒋教授,可谓演绎得淋漓尽致!
房怀年见状,没好气道,
“那是你的功劳吗?不都林决厉害吗?”
卢敬尧点点头,很是赞同,“确实!”
这二十天的时间里。
他们算是完整的体验,科研圣体完全体的恐怖!
那一个个原本需要大量时间验证,需要通过研讨会讨论,才能有结果的问题.....
在林决面前跟新兵蛋子似的,只要敢露头,立马就秒!
也是因此。
整个团队全程都跟打了鸡血一样。
就连一把年纪的蒋墨,陈望山等人,最近都是连轴转。
没办法!
测试过程中时刻都有回报啊!
光是看到那一组组以前想都不敢想的指标,大家伙就打心底里开心。
所以每天干起活来,众人就跟打了两升肾上腺素似的,有着使不完的力气。
甚至有时候连吃饭都嫌浪费时间,干脆一天只吃一顿。
美其名曰:有这时间,待在实验室盯数据不好吗!?
不过。
偶尔蒋墨和房怀年也会讨论。
被林决带飞的感觉不要太爽,以后要是不能和他一起搞科研,人生那得多无趣了啊!?
这些专家组的人是爽了。
但黄作平这个副所长可头疼得不行。
因为他是生怕老教授倒在实验室啊!
他一个小小所长,可担不起这个责任。
所以,好些时候黄作平只能苦苦哀求。
让这些不要命了似的的老教授们回家休息。
“真是一场酣畅淋漓的测试啊,简直跟便秘时用了开塞露一样畅快!”
蒋墨似乎还在回忆。
房怀年:“????”
卢敬尧:“????”
陈网山:“????”
其余众人:“.......”
林决只觉得眼前一黑。
我超威.....
蒋老您要比喻给我找个好点儿的啊!
见气氛忽然尬住,蒋墨这才回过神来,有些尴尬一笑,
“那什么.....不好意思,忽然就想到了,没忍住就说出来了。”
房怀年嘴角一抽,“老墨你好歹一文化人,怎么能如此粗俗?”
卢敬尧:“确实。”
蒋墨翻了个白眼,强撑场面道,
“老卢啊,你就别搁这确实了,难道只会说这句话?”
“确实。”
蒋墨:“......”