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要是林教授错了怎么办?
就凭他加入光机所后,不到一个月时间,就让EUV反射镜多层膜跟上国际一流指标。
就算接下来林教授是错,那也得让他错个高兴,错个酣畅淋漓!
毕竟......
要是万一林教授又从错误中,发现新的灵感呢?
就算是错误,那岂不是也价值千金?
这种说法,是丝毫不夸张的。
华夏苦高端芯片产业久矣!!!
AI,超级计算机......
电子信息时代,掌握了光刻技术,才能够将这些高端产业走得更远!
早上九点。
当林决来到实验室,人已经全部到齐了。
“林教授,设备已经按照您的要求改完了,今天咱们的任务是什么?”
看到他来,蒋墨跑过来打了个招呼。
“按照之前的规划,直接上整机先试试。”
林决口中的整机并非是说光刻机。
而是在实验室内,将拥有林氏函子光学变式的模型,在各个大型设备上完成流程闭环。
“今天就上吗?不用再优化一下流程?”蒋墨有些惊讶。
林决点了点头,很是确定,
“没事,先跑一遍再说吧。”
“那行!”
他都如此说了,蒋墨便也不再反对。
然后在黄所,蒋墨,陈望山等人的组织下,第一次用林氏函子光变式映射模型的整机闭环开始了。
光学源头完成装配校准,真空建立、光路调试、硅片上片、曝光、刻蚀配套联调、检测晶圆良率.....
各个关卡,都有专业的工程师盯着。
第一次流程需要的时间挺多的,需要整整72个小时!
........
转眼。
三天时间过去。
光机所会议室内。
第一次整机闭环的检测被分析组公布出来。
“从整体来看,本次跑机结果良好,但在函子输出端,132路高电压情况下......
波前误差会开始增大,从原本的0.18,直接跳到0.24。”
数据分析组组长于志明将表格内的数据标红。
“我们初步分析,这是因为函子输出太激进,控制周期跟不上的原因......”
此话一出。
会议室里立马开始躁动起来。
从于志明公布的整个整机流程来看。
林氏函子光学变式映射,是完全能够跑通整机,并且对比之前拥有极大进步的。
不过也因为函子输出端给的指令超频。
导致相应设备跟不上,最后导致光波偏振,误差增大了。
陈望山打开电脑上详细的数据看了看,
“光学采样只有6HZ.....对比输出端的10HZ确实少了一些,在高电压情况下,误差确实会增大。”
蒋墨凑过来看了眼,眼神中带着不敢置信,
“.....也就是说,咱们攒出来最好的设备,都还做不到匹配这个模型吗?”
此时。
台上,站在于志明不远处的林决听到这话,不由得开玩笑道,
“蒋老您想夸我直接说就行,不用弯弯绕绕的。”
蒋墨:“???”
“陈望山,你这徒弟有点过分了啊。”
陈望山看了蒋墨一眼,都懒搭理,而是直接对林决问着,
“这个问题应该有办法解决吧?我看你这三天都在忙着做改进脚本。”
闻言,卢敬尧,房怀年几人一惊。
什么!?
已经想好方案了?
这几天,他们基本全天候盯着平台。
所以虽然知道林决在办公室忙事儿。
但林决具体干什么,他们却是不清楚的。
蒋墨:
“真的假的?”
房怀年:
“你提前准备好方法了?这个问题也在你的预料之中?”