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第409章 三大核心:光源,物镜,工件台(1/2)

红色的保密电话被轻轻放回原位,发出一声沉闷的轻响。

办公室内,秦奋看着桌上那个普通的牛皮纸信封,陷入了沉思。

几分钟前,他与工业部的陈部长通了话。电话那头的声音一如既往的沉稳,但在听到秦奋说有份东西需要他“亲眼看一看”时,那沉稳中还是透出了一丝不易察觉的凝重。

这份报告送上去,必然会掀起一场风暴。

但秦奋知道,这还不够。

“103,457”这个数字,像一座大山,足以压垮任何乐观的情绪。供应商占比图,像一记耳光,足以打醒所有心存幻想的人。

可然后呢?

然后就是茫然和无措。面对这样一座由十万个零件构成的工业巨峰,从哪里开始攀登?面对这张密不透风的封锁网,从何处寻找突破口?

仅仅展示困难的广度,无法凝聚力量。他必须指出困难的核心,为即将到得的“举国之力”标定出最关键的攻击方向。

他不能只递给国家一个问题,他必须把问题的核心剖析出来。

秦奋起身,再次走进了那间绝对私密的指挥中心。

厚重的门隔绝了外界的一切。他重新坐下,意识再次沉入系统。

那个由十万多个光点组成的庞大零件云团依旧悬浮在空中,散发着冰冷的科技光芒。

“系统。”秦奋的意念无比清晰,“在这103,457个零件中,按照技术权重、制造难度以及供应链垄断程度,标出排名最高的三个核心模块。”

【指令确认。】

【正在进行技术权重分析……】

【正在进行供应链溯源分析……】

【分析完成。】

话音落下的瞬间,悬浮在空中的十万光点大部分都黯淡了下去,化作模糊的背景。

只有三个区域,猛然亮起了刺目的红色警示光芒。

它们像是三颗跳动的心脏,在这台工业巨兽的体内,散发着不容置疑的权威。

系统冰冷的标注,在第一个红色光团旁浮现。

【核心一:EUV光源系统】

秦奋的意念集中过去,那个光团瞬间被放大,内部复杂的结构清晰地呈现在他眼前。

那是一个由激光器、光路系统、液滴发生器以及等离子体收集腔组成的精密集合体。

系统的文字标注一行行展开:

【系统描述:能量的心脏。将不可见的极紫外光注入机器的源头。】

【核心技术1:CO2激光器。需要产生功率超过两万瓦的超强红外激光脉冲,其稳定性与能量转化效率是系统成败的关键。】

【核心技术2:液滴靶系统。发生器需要以每秒五万次的惊人频率,精准喷射出直径仅有20微米的融化锡滴,并且保证每一个锡滴都准确无误地落在激光焦点上,被轰击成等离子态,从而辐射出13.5纳米波长的EUV光。】

【技术综合难度评级:SSS级。】

【全球唯一成熟供应商:Cyr(米国)。】

Cyr,米国。

这个名字秦奋再熟悉不过。这家公司早在几十年前就被阿斯麦全资收购,成为了其牢牢掌控在手中的独家王牌。米国的技术,荷国的资本,共同铸就了这第一道,也是最坚固的壁垒。

秦奋的目光没有停留太久,他看向第二个高亮显示的模块。

这是一个更加庞大、由十几块形状各异的曲面镜片构成的复杂光学组合体,它占据了光刻机最核心的位置。

【核心二:衍射极限物镜系统】

【系统描述:机器的眼睛。负责将EUV光源产生的光线收集、整形并最终聚焦到硅片上,其精度决定了芯片的线宽。】

【核心技术1:非球面反射镜。整个系统由十几块非球面反射镜组成,每一块镜片的表面粗糙度必须小于0.1纳米。这个概念相当于,如果将镜片放大到整个德意志的国土面积,其地表最高点和最低点的差距,不能超过一毫米。】

【核心技术2:多层膜。由于没有任何材料能有效折射EUV光,必须使用反射镜。而为了高效反射13.5纳米的光,每块镜片的表面都需要镀上超过四十对钼硅(Mo/Si)交替的薄膜,每一层薄膜的厚度误差不能超过一个原子直径。】

【技术综合难度评级:SSS级。】

【全球唯一成熟供应商:蔡司(德意志)。】

蔡司,德意志。

又是一个如雷贯耳的名字。这家百年光学巨人,凭借其在精密光学领域无可撼动的地位,成为了EUV光刻机“眼睛”的独家铸造者。

如果说光源是第一座无法逾越的高山,那么这套物镜系统,就是第二座。而且这两座山,一座在美国,一座在德国,它们共同构成了封锁线的前两道铁闸。

秦奋的表情没有变化,视线移向了最后一个,也是结构上看起来最“简单”的模块。

那是位于整个系统底部的两个平台,看起来就像两个可以高速移动的托盘。

【核心三:超精密双工件台】

【系统描述:运动的灵魂。在一次曝光进行的同时,对下一片晶圆进行预对准和测量,实现无缝衔接,是光刻机产能的核心。】

【核心技术1:超高速与高加(减)速度。工件台需要在真空环境下,以超过10G的加速度(相当于战斗机飞行员承受的极限重力加速度)进行启动和停止,最高运动速度超越高铁,从而最大化扫描效率。】

【核心技术2:纳米级同步定位。在进行如此剧烈运动的同时,两个工件台之间的相对位置,以及工件台与上方静止的物镜系统之间的位置,必须通过复杂的激光干涉仪进行实时测量和校正,最终定位精度需要达到纳米级别。这相当于两架超音速飞行的战斗机,在空中进行误差不超过一根头发丝直径的空中加油。】

【技术综合难度评级:SSS级。】

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